9月19日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）在广州市增城经济技术开发区举行开工活动，宣布其华南总部研发及生产基地项目正式启动。这一重大项目的开工建设，标志着广州在半导体设备制造领域迈出关键一步，将为粤港澳大湾区半导体产业链发展注入新动能。

打造半导体设备产业新高地

羊城晚报记者了解到，中微公司华南总部研发及生产基地总体规划占地约130亩，其中一期项目占地50亩，预计2026年年底建成，2027年投产。基地将聚焦大平板显示设备领域，并拓展至智能玻璃、板级封装等新兴平板微观加工技术领域。

该项目建成后，将显著增强中微公司的产品研发与先进制造能力，深化其在半导体及泛半导体产业链的战略布局，巩固其在全球高端半导体设备领域的领先地位。

值得一提的是，当天开工活动得到各级政府的大力支持，季华实验室、国家新型显示技术创新中心等科研院所代表，以及业界合作伙伴共同见证这一里程碑时刻。

中微广州公司总经理张凯表示，广州研发与生产基地的启动，既彰显了中微公司跨界开拓新兴应用领域的能力，也体现了广东各级政府创新务实的工作作风，大幅加速了公司产品研发及产业化进程。

增城构建半导体产业生态圈

据悉，引进中微项目是增城区发展半导体与集成电路战略性新兴产业的缩影。近年来，增城区始终坚持产业第一、制造业立区，主动衔接广州“12218”现代化产业体系，因地制宜建设增城“12613”现代化产业体系。

“广州研发与生产基地项目为公司多元化布局和高质量发展打下坚实基础。”中微公司董事长兼总经理尹志尧博士透露，公司目前三十多种设备已覆盖半导体高端设备的25%至30%，未来五到十年计划通过有机生长和外延扩展，将覆盖率提升50%至60%，发展成为平台型集团公司。

事实上，增城区服务广东“强芯工程”，积极培育广州“芯”力量，布局全省首个智能传感器产业园、全市唯一高端电子信息新材料产业园，引进中微、增芯等一批规模大、能级高、带动力强的骨干项目，培育智能传感器晶圆制造等领域错位发展优势，助力广州打造国家集成电路产业发展“第三极”核心承载区。

随着中微公司华南总部项目的落地，增城区半导体产业集聚效应将进一步增强，为广州乃至粤港澳大湾区半导体产业发展提供重要支撑。

文｜记者 马灿 通讯员 陈惠瑜
图｜通讯员 谢锡权